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晶圓劃片機被動式空氣彈簧隔振基本原理的解讀

高精隔振理論是航 天工程和高精光學系統(tǒng)準確測量、試驗和生產(chǎn)制造中的重要技術(shù)性。為了獲取高質(zhì)量信息內(nèi)容,需要要在試驗系統(tǒng)中進行高精隔振。伴隨著科技進步的持續(xù)發(fā)展與新產(chǎn)品的不斷創(chuàng)新,對檢測精度的需求愈來愈高,所以對隔振系統(tǒng)給出了更高要求。隔振器的設(shè)計目標是讓隔振系統(tǒng)的固有頻率盡量低,隔振高 效率盡量高。
根據(jù)對被動式空氣彈簧隔振基本原理的解讀,找到危害固有頻率的多種要素,為工程技術(shù)員設(shè)計方案性能出 色隔振器給予理論來源,空氣彈簧隔振系統(tǒng)隔振頻率低,可以獲得較好的隔振實際效果。
在運動狀況下,能夠構(gòu)想被動式空氣彈簧隔振基本原理的前提將忽然偏移或負荷會受到外力作用,塑膠膜盒將澎漲和收攏,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)容積高 效承重總面積將產(chǎn)生變化,因而空氣彈簧里的負荷將因力而挪動。與此同時,空氣彈簧與額外制動氣室之間有壓力差,一部分氣體從髙壓側(cè)流入低電壓側(cè),其中部分能 量轉(zhuǎn)換為能源,健身運動損耗。
被動式空氣彈簧是一個繁雜的離散系統(tǒng)系統(tǒng),其強度隨負載轉(zhuǎn)變而改變。技術(shù)工程師根據(jù)科學研究密封容器內(nèi)汽體的改變?nèi)^程,設(shè)立了空氣彈簧隔振系統(tǒng)的力學模型,并推論出固有頻率計算方法。根據(jù)實例分析了設(shè)計參數(shù)對固有頻率產(chǎn)生的影響。文中只考慮到了固有頻率的一個性能指標。針對空氣彈簧隔振系統(tǒng),應(yīng)該考慮隔振高 效率等其它性能指標。怎么選擇設(shè)計參數(shù)的上限值尚需進一步探討。
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